Η εναπόθεση ατμών οργανικών χημικών μετάλλων (MOCVD) είναι μια διαδικασία που χρησιμοποιείται για τη δημιουργία κρυσταλλικών ενώσεων υψηλής καθαρότητας ημιαγώγιμων λεπτών μεμβρανών και μικρο/νανοδομών. Ο λεπτός συντονισμός ακριβείας, οι απότομες διεπαφές, η επιταξιακή εναπόθεση και το υψηλό επίπεδο ελέγχου της πρόσμειξης μπορούν να επιτευχθούν εύκολα.
Ποια είναι η διαφορά μεταξύ MOCVD και CVD;
MOCVD. Η εναπόθεση χημικών ατμών (MOCVD) είναι μια παραλλαγή της εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD), που χρησιμοποιείται γενικά για την εναπόθεση κρυσταλλικών μικρο/νανο λεπτών μεμβρανών και δομών. Η λεπτή διαμόρφωση, οι απότομες διεπαφές και ένα καλό επίπεδο ελέγχου της πρόσμειξης μπορούν να επιτευχθούν εύκολα.
Ποιοι δύο παράγοντες πρέπει να υπάρχουν για την εναπόθεση χημικών ατμών;
Ωστόσο, οι διεργασίες CVD συνήθως απαιτούν ένα περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας και κενού και οι πρόδρομες ουσίες θα πρέπει να είναι πτητικές.
Τι είναι το σύστημα Pecvd;
Η Ενισχυμένη Χημική Εναπόθεση Ατμών Πλάσματος (PECVD) είναι μια διαδικασία με την οποία λεπτές μεμβράνες από διάφορα υλικά μπορούν να εναποτεθούν σε υποστρώματα σε χαμηλότερη θερμοκρασία από αυτή της τυπικής χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Προσφέρουμε πολλές καινοτομίες στα συστήματα PECVD που παράγουν ταινίες υψηλής ποιότητας. …
Είναι το Pecvd μια τεχνική φυσικής εναπόθεσης ατμού;
Το
PECVD είναι μια καλά καθιερωμένη τεχνική για την εναπόθεση μεγάλης ποικιλίας φιλμ. Πολλοί τύποι συσκευών απαιτούν PECVD για τη δημιουργία υψηλής ποιότητας μάσκες παθητικοποίησης ή υψηλής πυκνότητας.
