Η
Φωτολιθογραφία είναι μια διαδικασία που χρησιμοποιείται στη μικροκατασκευή για τη μεταφορά γεωμετρικών μοτίβων σε ένα φιλμ ή υπόστρωμα. Τα γεωμετρικά σχήματα και τα μοτίβα σε έναν ημιαγωγό συνθέτουν τις πολύπλοκες δομές που επιτρέπουν στις προσμίξεις, τις ηλεκτρικές ιδιότητες και τα καλώδια να ολοκληρώσουν ένα κύκλωμα και να εκπληρώσουν έναν τεχνολογικό σκοπό.
Τι είναι η διαδικασία φωτολιθογραφίας;
Η φωτολιθογραφία, που ονομάζεται επίσης οπτική λιθογραφία ή λιθογραφία UV, είναι μια διαδικασία που χρησιμοποιείται στη μικροκατασκευή για να σχεδιάσει μέρη σε ένα λεπτό φιλμ ή στον όγκο ενός υποστρώματος (ονομάζεται επίσης γκοφρέτα). … Σε πολύπλοκα ολοκληρωμένα κυκλώματα, μια γκοφρέτα CMOS μπορεί να περάσει από τον φωτολιθογραφικό κύκλο έως και 50 φορές.
Τι είναι η διαδικασία μικροκατασκευής;
Η
Μικροκατασκευή είναι η διαδικασία κατασκευής μικροσκοπικών κατασκευών από μικρομετρικές κλίμακες και μικρότερων. … Οι κύριες έννοιες και αρχές της μικροκατασκευής είναι η μικρολιθογραφία, το ντόπινγκ, οι λεπτές μεμβράνες, η χάραξη, η συγκόλληση και η στίλβωση.
Τι είναι η διαδικασία λιθογραφίας στους ημιαγωγούς;
Ένα σύστημα λιθογραφίας ημιαγωγών αναλαμβάνει μια διαδικασία κατά την οποία τα εξαιρετικά πολύπλοκα μοτίβα κυκλωμάτων που σχεδιάζονται σε μια φωτομάσκα κατασκευασμένη από μια μεγάλη γυάλινη πλάκα μειώνονται χρησιμοποιώντας φακούς εξαιρετικά υψηλής απόδοσης και εκτίθενται σε ένα υπόστρωμα πυριτίου γνωστό ωςμια γκοφρέτα. …
Τι είναι η λιθογραφία στη διαδικασία κατασκευής;
Λιθογραφία είναιη διαδικασία μεταφοράς μοτίβων γεωμετρικών σχημάτων σε μια μάσκα σε ένα λεπτό στρώμα υλικού ευαίσθητου στην ακτινοβολία (ονομάζεται αντίσταση) που καλύπτει την επιφάνεια μιας γκοφρέτας ημιαγωγών. Το σχήμα 5.1 απεικονίζει σχηματικά τη λιθογραφική διαδικασία που χρησιμοποιείται στην κατασκευή IC.
