Η φωτολιθογραφία χρησιμοποιείται συνήθως για την παραγωγή τσιπ υπολογιστών. Κατά την παραγωγή τσιπ υπολογιστών, το υλικό του υποστρώματος είναι μια γκοφρέτα πυριτίου καλυμμένη με ανθεκτικότητα. Αυτή η διαδικασία επιτρέπει την ταυτόχρονη κατασκευή εκατοντάδων τσιπ σε μια γκοφρέτα πυριτίου.
Πώς γίνεται η φωτολιθογραφία;
Η
Φωτολιθογραφία χρησιμοποιεί τρία βασικά βήματα διαδικασίας για τη μεταφορά ενός μοτίβου από μια μάσκα σε μια γκοφρέτα: παλτό, ανάπτυξη, έκθεση. Το σχέδιο μεταφέρεται στο επιφανειακό στρώμα της γκοφρέτας κατά τη διάρκεια μιας επόμενης διαδικασίας. Σε ορισμένες περιπτώσεις, το μοτίβο αντίστασης μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για τον καθορισμό του σχεδίου για ένα αποτιθέμενο λεπτό φιλμ.
Γιατί ονομάζεται φωτολιθογραφία;
Λιθογραφία ημιαγωγών (Φωτολιθογραφία) - Η βασική διαδικασία . Η κατασκευή ενός ολοκληρωμένου κυκλώματος (IC) απαιτεί μια ποικιλία φυσικών και χημικών διεργασιών που εκτελούνται σε ένα υπόστρωμα ημιαγωγών (π.χ. πυρίτιο). … Η λέξη λιθογραφία προέρχεται από τα ελληνικά lithos, που σημαίνει πέτρες, και graphia, που σημαίνει γράφω.
Γιατί είναι σημαντική η λιθογραφία;
Λιθογραφία είναι η διαδικασία μεταφοράς μοτίβων γεωμετρικών σχημάτων σε μια μάσκα σε ένα λεπτό στρώμα ευαίσθητου στην ακτινοβολία υλικού (που ονομάζεται αντίσταση) που καλύπτει την επιφάνεια μιας γκοφρέτας ημιαγωγών. Το σχήμα 5.1 απεικονίζει σχηματικά τη λιθογραφική διαδικασία που χρησιμοποιείται στην κατασκευή IC.
Ποια είναι η πιο διαδεδομένη μέθοδος στις λιθογραφικές μεθόδους;
ΟπτικόΗ λιθογραφία είναι μια τεχνική που βασίζεται σε φωτόνια που αποτελείται από την προβολή μιας εικόνας σε ένα φωτοευαίσθητο γαλάκτωμα (φωτοανθεκτικό) επικαλυμμένο σε ένα υπόστρωμα όπως μια γκοφρέτα πυριτίου. Είναι η πιο ευρέως χρησιμοποιούμενη διαδικασία λιθογραφίας στην κατασκευή νανοηλεκτρονικών υψηλού όγκου από τη βιομηχανία ημιαγωγών.
