Η
Φωτολιθογραφία χρησιμοποιεί τρία βασικά βήματα διαδικασίας για τη μεταφορά ενός μοτίβου από μια μάσκα σε μια γκοφρέτα: επικάλυψη, ανάπτυξη, έκθεση. Το σχέδιο μεταφέρεται στο επιφανειακό στρώμα της γκοφρέτας κατά τη διάρκεια μιας επόμενης διαδικασίας. Σε ορισμένες περιπτώσεις, το μοτίβο αντίστασης μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για τον καθορισμό του σχεδίου για ένα αποτιθέμενο λεπτό φιλμ.
Τι είναι η φωτολιθογραφία Πώς λειτουργεί;
Η
Φωτολιθογραφία είναι μια διαδικασία διαμόρφωσης μοτίβων κατά την οποία ένα φωτοευαίσθητο πολυμερές εκτίθεται επιλεκτικά στο φως μέσω μιας μάσκας, αφήνοντας μια λανθάνουσα εικόνα στο πολυμερές που μπορεί στη συνέχεια να διαλυθεί επιλεκτικά για να δώσει μοτίβο πρόσβαση σε ένα υποκείμενο υπόστρωμα.
Γιατί χρησιμοποιείται η φωτολιθογραφία;
Η φωτολιθογραφία είναι μία από τις πιο σημαντικές και ευκολότερες μεθόδους μικροκατασκευής και χρησιμοποιείται για τη δημιουργία λεπτομερών μοτίβων σε ένα υλικό. Σε αυτή τη μέθοδο, ένα σχήμα ή σχέδιο μπορεί να χαραχθεί μέσω επιλεκτικής έκθεσης ενός φωτοευαίσθητου πολυμερούς στο υπεριώδες φως.
Γιατί χρησιμοποιείται το υπεριώδες φως στη φωτολιθογραφία;
Η
Φωτολιθογραφία επιτρέπει την τρισδιάστατη ενθυλάκωση κυττάρων εντός υδρογέλης με διασύνδεση του προπολυμερούς που περιέχει τα κύτταρα υπό υπεριώδες φως. Χρησιμοποιείται μια φωτομάσκα για να ληφθεί το επιθυμητό μοτίβο [88].
Ποιες είναι οι απαιτήσεις φωτολιθογραφίας;
Γενικά, μια διαδικασία φωτολιθογραφίας απαιτεί τρία βασικά υλικά, πηγή φωτός, μάσκα φωτογραφίας και φωτοανθεκτικό. Photoresist, ένα φωτοευαίσθητο υλικό,έχει δύο τύπους, θετικό και αρνητικό. Το θετικό φωτοανθεκτικό γίνεται πιο διαλυτό μετά την έκθεση σε πηγή φωτός.
Photolithography: Step by step
