Σε μια μη ισορροπημένη διασκορπισμό Magnetron, το πλάσμα έλκεται επίσης προς τα πάνω στο υπόστρωμα και τα ιόντα αργού βομβαρδίζουν επίσης την αναπτυσσόμενη λεπτή μεμβράνη. … Η παρουσία ηλεκτρονίων γύρω από το υπόστρωμα οδηγεί στον ιονισμό ουδέτερων ατόμων αερίου και στη διείσδυση του πλάσματος σε αυτή την περιοχή.
Γιατί ένα μαγνητρόνιο ψεκάζει;
Η εκτόξευση μαγνητρονίου χρησιμοποιεί ένα κλειστό μαγνητικό πεδίο για να παγιδεύσει ηλεκτρόνια, αυξάνοντας την αποτελεσματικότητα της αρχικής διαδικασίας ιονισμού και δημιουργώντας το πλάσμα σε χαμηλότερες πιέσεις, μειώνοντας την ενσωμάτωση και των δύο αερίων υποβάθρου στην ανάπτυξη απώλειες μεμβράνης και ενέργειας στο διασκορπισμένο άτομο μέσω συγκρούσεων αερίου.
Τι μπορεί να εφαρμοστεί για τον ψεκασμό μαγνητρόν;
5 Εναπόθεση διασκορπισμού μαγνητρονίου. Η επιμετάλλωση με μαγνήτρο είναι μια τεχνική επικάλυψης υψηλού κενού που επιτρέπει την εναπόθεση πολλών τύπων υλικών, συμπεριλαμβανομένων μετάλλων και κεραμικών, σε ισάριθμους τύπους υλικών υποστρώματος με τη χρήση ειδικά διαμορφωμένου μαγνητικού πεδίο που εφαρμόζεται σε έναν στόχο διασκορπισμού διόδου.
Τι είναι η εκτόξευση μαγνητρονίου μη ισορροπημένου κλειστού πεδίου;
Το σύστημα επιμετάλλωσης ιόντων διασκορπισμού κλειστού πεδίου, που αναπτύχθηκε από την Teer Coatings Ltd, παράγει βελτιστοποιημένες συνθήκες εναπόθεσης που επιτρέπουν την εναπόθεση πυκνών, σκληρών επιστρώσεων με εξαιρετική πρόσφυση. Η συμφωνία CFUBMSIP καλύπτεται από διπλώματα ευρεσιτεχνίας που έχουν χορηγηθεί στην Teer Coatings Ltd.
Τι είναι το μη ισορροπημένο μαγνήτρον;
Τα μαγνητόνια ταξινομούνται συνήθως ως «ισορροπημένα» ή «μη ισορροπημένα». … Εάν το μηδενικό σημείο είναι κοντά στην επιφάνεια στόχο, τα ηλεκτρόνια μπορούν να διαφύγουν πιο εύκολα και το μαγνητρόνιο είναι μη ισορροπημένο. Τα μη ισορροπημένα σχέδια μπορούν να προκαλέσουν υψηλό βομβαρδισμό ιόντων της λεπτής μεμβράνης ταυτόχρονα με την εναπόθεση.
